微納加工平臺（蘇州）于2009年1月起正式對外服務，集微米、納米加工和檢測于一體，服務領域包括微納米電子器件、光電子器件、微納光機電系統(tǒng)、生物傳感器及生物芯片、化合物半導體器件等。
裝備建設投資2億多
工藝大型設備百余臺套（包括工藝加工、工藝測試和器件封裝）
超凈實驗室5500平方米
支撐服務團隊102人，其中研究員5人，副研究員17人
年均服務企業(yè)100余家，大學、研究所200余家
對外服務總機時70396小時，對外服務收入3561萬元，對外培訓2022人次
中國科學院納米器件平臺、江蘇省納米技術產業(yè)產學研聯(lián)合創(chuàng)新載體、江蘇省納米加工平臺、國家自然科學基金重大研究計劃納米制造的基礎研究聯(lián)合開放實驗室
微納加工平臺（南昌）結合南昌產業(yè)需求，建設定位：應用基礎和具有應用前景的科學與技術研究，集微米、納米加工和檢測手段于一體，具有先進的、有特色的加工裝備的研究基地；具有開發(fā)微納電子器件、微納光電子器件、微納光機電系統(tǒng)、生物傳感器及生物芯片等多功能的技術支撐體系；具有孵化器功能，為企業(yè)全方位開放的服務體系；
微納加工平臺-超凈環(huán)境
微納加工平臺-開放特色
